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InGaAs相较EMMI有什么不同呢?
InGaAs EMMI与传统EMMI原理相同,但InGaAs具有更高的灵敏度和更长的波长检测范围(900-1700 nm),适用于IR(红外)光谱分析。该设备特点包括InGaAs采集相机、高分辨率、多倍率图像采集、超低温电制冷降低暗电流带来的信噪比,以及电制冷/空气冷却的自由转换。
不属于_ngaas相较EMMI,更适用在检测先进制程组件的缺陷。
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